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臭氧氣體輸送系統(tǒng)

臭氧氣體輸送系統(tǒng)，可產(chǎn)生超純、可靠的臭氧氣體。在清潔的半導(dǎo)體環(huán)境中，借助臭氧氣體反應(yīng)實現(xiàn)原子層沉積 (ALD) 和蝕刻 (ALE) 等薄膜沉積工藝。高純度、高濃度臭氧氣體能夠產(chǎn)生更高的薄膜密度，從而提高產(chǎn)品產(chǎn)量、產(chǎn)品性能和可靠性。

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產(chǎn)品特點

臭氧濃度高

氣體流量高

采用超純發(fā)生技術(shù)

無氮氣摻加技術(shù)

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    我們與國內(nèi)的臭氧運行及

    應(yīng)用技術(shù)專家長效合作

  • 升級改造服務(wù)

    協(xié)同您對臭氧發(fā)生系統(tǒng)中

    相關(guān)設(shè)備進行升級改造

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